MACOM II ®
Magnetfeldkompensation für optimale Störfeldreduktion
Deutliche Reduktion magnetischer Störfelder in Elektronenstrahllithografie und Elektronenmikroskopie durch die aktive Magnetfeldkompensationsanlage MACOM II ®.
Was ist MACOM II ®?
MACOM II ® ist eine aktive Magnetfeldkompensationsanlage, die hochsensible Geräte wie Elektronenmikroskope oder MRT-Scanner zuverlässig vor störenden externen Magnetfeldern (z. B. durch Verkehr oder Stromleitungen) schützt. Im Gegensatz zu aufwändigen passiven Abschirmungen neutralisiert das System Störungen in Echtzeit und schafft so mit geringem Aufwand optimale Bedingungen für präzise Ergebnisse.
Ihre Vorteile
Effektive Störfeldreduktion
Höchste Feldreduktionswirkung bei gleichzeitig extrem niedrigem Rauschniveau – für maximale Präzision in sensiblen Anwendungen
Maximale Effizienz im Betrieb
Individuell konfigurierbar für ein breites Anwendungsspektrum – von Forschung bis Industrie
Flexible Systemlösungen
Magnetfeldkompensation für optimale Störfeldreduktion
Typische Einsatzgebiete
Forschung
Elektronenmikroskopie – Verbesserung der Auflösung durch Reduktion magnetischer Störfelder.
Halbleiterindustrie
Elektronenstrahllithografie – Magnetfeldreduktion für exakte Strukturen im Nanometerbereich
Allgemeine Anwendungen
Anlagen aller Art – stabile Magnetfeldverhältnisse für störungsfreien Betrieb sensibler Systeme
Technische Daten
| Feldreduktionswirkung* | 0,1 Hz bis 1 kHz: 60 dB 1 kHz bis 5 kHz: 60 dB bis 40 dB 5 kHz bis 100 kHz: 40 dB bis 0 dB |
| Dynamikbereich | > 100 dB |
| Rauschen (0,1 Hz – 10 kHz)* | < 0,2 nTRMS |
| Langzeitstabilität | < 1 nTRMS |
| Maximales Störfeld | ca. 10 µT |
| Ausgangsstrom | 3 x 3 A |
| PC-Schnittstelle | RS 232, Ethernet |
| Versorgungsspannung | 115 V oder 230 V (einstellbar), 50 Hz oder 60 Hz |
| Bauform | 19-Zoll (4 HE) – Einschub- oder Tischgehäuse |
*Typische Werte am Ort der Sonde
Setzen Sie auf MACOM II ® für stabile Magnetfelder und maximale Präzision in Forschung und Halbleitertechnologie!
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