Als ultrafeine Partikel (UFP) beziehungsweise Ultrafeinstaub werden nach den gängigsten Definitionen luftgetragene Partikel mit einem Durchmesser zwischen 1 und 100 Nanometer (nm) bezeichnet (DIN 2006; ISO 2007; VDI 2009; EPA 2004). UFP stellen die ultrafeine Teilfraktion der feinen Partikel dar, wobei sich letztere meist auf den Größenbereich < 1 Mikrometer, das heißt 1.000 nm beziehen. Dem Sprachgebrauch nach handelt es sich bei UFP um die vom Menschen unbeabsichtigt beziehungsweise die in der ⁠Atmosphäre⁠ natürlich erzeugten Partikel im Größenbereich < 100 nm.

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