Halbleiterfertigung

In der Halbleiterfertigung kommen häufig hochgradig schwingungsempfindliche Prozesse zum Einsatz. Gleichzeitig verursachen technische Gebäudeausrüstung, Medienversorgung, Luftführungssysteme und Produktionsanlagen selbst Schwingungsanregungen. Daher sind eine schwingungstechnisch optimierte Gebäudeplanung sowie schwingungsarme Aufstellflächen wesentliche Voraussetzungen für einen zuverlässigen Betrieb. Vor der Installation empfindlicher Anlagen werden häufig Schwingungsmessungen am Aufstellort durchgeführt (HookUp-Support), um die Eignung des Standorts zu bewerten und gegebenenfalls Minderungsmaßnahmen abzuleiten.