Schwingungsempfindliche Anlagen

Schwingungsempfindliche Anlagen reagieren bereits auf sehr geringe Erschütterungen oder Bauwerksschwingungen weit unterhalb der menschlichen Fühlbarkeitsschwelle. Hierzu zählen unter anderem Lithographieanlagen, Metrologiesysteme, Elektronenmikroskope, Inspektionssysteme sowie Präzisionspositionieranlagen. Die zulässigen Schwingungen werden häufig durch herstellerspezifische Anforderungen oder sogenannte Vibration-Criteria-(VC)-Kurven definiert.